致力提高工廠及分析性實(shí)驗(yàn)室效率 助推中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)快速發(fā)展

3月21日，科學(xué)服務(wù)領(lǐng)域的世界領(lǐng)導(dǎo)者賽默飛世爾科技(以下簡(jiǎn)稱：賽默飛)亮相于上海舉辦的SEMICON CHINA2019展會(huì)，現(xiàn)場(chǎng)發(fā)布展示了其最新一代的產(chǎn)品及半導(dǎo)體綜合解決方案，新品致力于提高工廠及分析性實(shí)驗(yàn)室效率，進(jìn)一步助力中國(guó)半導(dǎo)體事業(yè)的發(fā)展。

賽默飛亮相SEMICON CHINA 2019展會(huì)現(xiàn)場(chǎng)

自2014年6月《國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》正式發(fā)布，中國(guó)的半導(dǎo)體行業(yè)拉開了高速發(fā)展的序幕。近年來，應(yīng)用可編程芯片(FPGA)、人工智能云端以及邊緣運(yùn)算端芯片等一系列前沿技術(shù)的半導(dǎo)體新產(chǎn)品開發(fā)正如火如荼地進(jìn)行——半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的技術(shù)節(jié)點(diǎn)也在不斷提高，實(shí)現(xiàn)更先進(jìn)的制程工藝、更高的良率、更大的產(chǎn)能成為半導(dǎo)體行業(yè)迫切需要面對(duì)和解決的問題。賽默飛中國(guó)區(qū)總裁艾禮德(Tony Acciarito)表示：“新興技術(shù)市場(chǎng)趨勢(shì)以及政策支持正為中國(guó)半導(dǎo)體和電子科技產(chǎn)業(yè)帶來了前所未有的機(jī)遇，秉持‘扎根中國(guó)、服務(wù)中國(guó)’的發(fā)展戰(zhàn)略，我們期待利用自身在半導(dǎo)體行業(yè)的豐富經(jīng)驗(yàn)及優(yōu)勢(shì)，攜手本土合作伙伴，共同推動(dòng)中國(guó)半導(dǎo)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展和創(chuàng)新。”

在此次SEMICON CHINA2019上，賽默飛從多個(gè)維度綜合展現(xiàn)了其在實(shí)驗(yàn)室方案、失效分析、環(huán)境分析以及生產(chǎn)支持方面的綜合能力以及一體化解決方案。其中以Thermo ScientificHelios 5為代表的一眾新品，也通過SEMICON CHINA2019這個(gè)絕佳的平臺(tái)第一次在中國(guó)與業(yè)界的朋友們見面。

賽默飛首發(fā)推出最新一代Thermo ScientificHelios 5，這款全新的先進(jìn)的小型聚焦離子束掃描電子顯微鏡將用于納米材料的表征和分析。Helios 5產(chǎn)品系列的發(fā)布解決了目前越來越多的半導(dǎo)體技術(shù)挑戰(zhàn)，包括更小的幾何形狀，3D結(jié)構(gòu)，新材料和大量的分析樣品以提高產(chǎn)量和根本原因分析。隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)從7nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)轉(zhuǎn)向5nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)，Helios 5 TEM和Atom Probe樣品制備軟件提高對(duì)最先進(jìn)的原子級(jí)的結(jié)構(gòu)和成分信息的獲得能力。它可以在納米尺度上實(shí)現(xiàn)最高質(zhì)量的表面和3D信息，并且可以最精確地定位感興趣的區(qū)域。

賽默飛最新一代Thermo Scientific™ Helios 5

Thermo Scientific™ ELITE™ 系統(tǒng)

近幾年來，半導(dǎo)體工業(yè)已經(jīng)普遍接受使用ELITE (Enhanced Lock In Thermal Emission) 實(shí)現(xiàn)電性失效分析定位的工作。ELITE具有極佳的靈敏度，可以幫助傳統(tǒng)EMMI / OBIRCH 檢測(cè)的不足。ELITE 還可以作為非破壞性檢測(cè)，對(duì)于封裝后的元件，分析失效點(diǎn)深度的位置。除了先進(jìn)制程和封裝的需求，針對(duì)功率元件在車用電子的應(yīng)用，ELITE還支持高電壓的測(cè)試。

工程師現(xiàn)場(chǎng)講解及演示Thermo Scientific™ELITE™ 系統(tǒng)

Thermo Scientific™ Nicolet™ iG50 FT

賽默飛Nicolet旗下 iS50/iG50 系列硅片分析系統(tǒng)為硅片的研究或者大規(guī)模制造的質(zhì)量控制提供了靈活強(qiáng)大的解決方案。 Nicolet iS50/iG50 系列硅片分析系統(tǒng)主要可以應(yīng)用于氧、碳含量分析以及外延層 (EPI) 厚度測(cè)量。除此之外，iS50/iG50還可以應(yīng)用于鈍化層分析，例如：PSG、BSG、PBSG 中 PB 含量、Si中H的含量測(cè)定以及FSG。

Thermo Scientific™ Nicolet™ iG50

Thermo Scientific™ Nicolet™ iN10

賽默飛Nicolet旗下 iN10是一種直觀、創(chuàng)新、集成的一體化傅里葉變換顯微紅外光譜儀，具有安裝簡(jiǎn)便、性能卓越、光譜質(zhì)量高的特點(diǎn)。Nicolet iN10 顯微紅外光譜儀在半導(dǎo)體微電子領(lǐng)域主要應(yīng)用于：固化膠的固化率測(cè)定、電子材料的分析與表征、顯示材料的剖析與表征以及異物分析。

Thermo Scientific™ Nicolet™ iN10

Thermo Scientific™ iCAP™ TQs ICP-MS

支持三重四極桿技術(shù)的 Thermo Scientific™ iCAP™ TQs ICP-MS 是一種高性能 ICP-MS，適用于在與半導(dǎo)體行業(yè)相關(guān)的多種挑戰(zhàn)性基質(zhì)中進(jìn)行痕量元素超痕量定量檢測(cè)。在不犧牲其作為靈敏、易用的工作臺(tái)儀器所具備的檢測(cè)能力的前提下，具有三重四極桿技術(shù)出色的干擾去除能力，可更好地對(duì)各種最具挑戰(zhàn)性的基質(zhì)中的元素雜質(zhì)進(jìn)行檢測(cè)。由于 iCAP TQs ICP-MS 占地面積小，加上具有簡(jiǎn)化的工作流程并支持自動(dòng)化方法開發(fā)而特別易于使用，使其成為用于確保關(guān)鍵生產(chǎn)工藝一致性和提高半導(dǎo)體硅片加工產(chǎn)量而進(jìn)行在線質(zhì)量控制的理想檢查工具。

Thermo Scientific™ iCAP™ TQs ICP-MS

Thermo Scientific

性能可靠的多用途制熱/冷卻恒溫循環(huán)器，可為需要的小型實(shí)驗(yàn)室到大型工業(yè)過程，提供制熱/冷卻恒溫循環(huán)的關(guān)鍵應(yīng)用，最高可達(dá)24000瓦的制熱/冷卻恒溫循環(huán)能力。本產(chǎn)品提供創(chuàng)新平臺(tái)，可配置的設(shè)計(jì)，易于操作，以及卓越的性能。

Thermo Scientific™ NESLAB ThermoFlex

Thermo Scientific

Thermo Fisher Scientific 飛納臺(tái)式掃描電鏡是半導(dǎo)體行業(yè)中高效的檢測(cè)分析儀器。主要用于工業(yè)質(zhì)量控制、缺陷分析和產(chǎn)品研發(fā)。可以選配 飛納自動(dòng)傾斜旋轉(zhuǎn)樣品杯或 U 中心樣品杯觀察半導(dǎo)體樣品。通過傾斜旋轉(zhuǎn)樣品，能夠展現(xiàn)獨(dú)特的3D圖像，分析樣品上的隱藏特征，幫助用戶把控產(chǎn)品質(zhì)量。

Thermo Scientific™ Phenom™ ProX

展會(huì)現(xiàn)場(chǎng)，賽默飛展示了ELITE的實(shí)體機(jī)器并進(jìn)行了DEMO演示，吸引了大批專業(yè)及相關(guān)人士的駐足了解問詢。數(shù)量眾多的同行以及訪客在展臺(tái)現(xiàn)場(chǎng)聆聽了現(xiàn)場(chǎng)工程師講解賽默飛在半導(dǎo)體行業(yè)的綜合解決方案，并共同分享探討了半導(dǎo)體行業(yè)內(nèi)的前沿技術(shù)與最新市場(chǎng)動(dòng)態(tài)。